二次電子検出器

secondary-electron detector

[目次：検出系]

電子ビームの照射により試料表面から放出される二次電子を検出する検出器のこと。検出器の主な構成要素はシンチレータと光電子増倍管である。エネルギーの低い二次電子(通常、数10eV)を効率よく集めるために、シンチレータには試料に対して約10kVの正電位を印加する。加速された二次電子はシンチレータにより可視光に変換され、ライトパイプを通して光電子増倍管に導かれ、電気信号に変換され増幅される。二次電子像は、電子ビームで試料表面上を走査し、それに同期して二次電子の強度を輝点列としてコンピュータモニタ上に表示して得られる。

A detector that is used for detecting secondary electrons emitted from the specimen surface by electron-beam illumination. The main elements of the detector are a scintillator and a photomultiplier tube (PMT). To efficiently collect low-energy secondary electrons (normally, several 10 eV), a positive potential (voltage) of about 10 kV is applied to the scintillator against the specimen. Accelerated secondary electrons are converted into visible light by the scintillator, and the light is guided to the PMT through a light pipe. Then, the light signal is converted into an electric signal and the electric signal is amplified. A secondary-electron image is obtained by displaying the intensity of the detected secondary electrons on a computer monitor screen as a series of bright spots synchronized with the scan of the electron probe.

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