開き角

divergence angle

[目次：レンズ系]

電子線の拡がりを半角で表わしたもの。試料への電子線照射の開き角は、対物レンズの励磁が固定で使われることが多いので、第2コンデンサーとコンデンサーミニレンズの励磁およびコンデンサー絞りの径によって決まる。

The "divergence angle" expresses the divergence of an electron beam as a semi-angle. The divergence angle of the electron beam to a specimen is determined by the excitation of the second condenser lens and the condenser mini lens, and the diameter of the condenser aperture, when the objective-lens excitation is fixed.

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