深さ方向プロファイル

depth profile

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

イオンミリングなどで試料表面を少しずつ削りとり、試料の深さ方向に沿って組成分析した結果をプロファイルしたもの。

"Depth profile" means a result of compositional analysis along the depth direction in a specimen, which is obtained by milling a specimen step by step from the surface and by analyzing the milled surface.