ベリリウム・ウィンドウ型EDS検出器

beryllium window EDS detector

[目次：検出系]

ベリリウム膜を、半導体検出器の真空を保持するための窓材として使用するEDS検出器のこと。ベリリウム膜（厚さ8～10μm）が厚いので、取り付けや取り外しの作業で真空が破れるリスクが少ない。しかし、ベリリウム膜が低エネルギー側のX線を吸収してしまうため、ナトリウムより軽い元素の分析はできないという欠点がある。そのために最近は使用されることは少なくなってきている。

An EDS detector that uses a beryllium film of 8 to 10 μm thickness as a window material to maintain vacuum of a semiconductor detector. Since the window material is robust, the detector is attached to and detached from the microscope column without worry of vacuum leakage. However, the detector is hard to detect elements lighter than sodium (Na) because the beryllium film absorbs low energy X-rays. For this reason, the detector has less been used in recent years.

関連用語から探す