本引き
本引き
main pumping
[目次：真空系]
粗引きポンプから高真空ポンプに切り替えて排気すること。主排気ともいう。
"Main pumping" means pumping for high-vacuum after rough pumping is completed.
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粗引きポンプから高真空ポンプに切り替えて排気すること。主排気ともいう。
"Main pumping" means pumping for high-vacuum after rough pumping is completed.
