4回非点収差

four-fold astigmatism

[目次：レンズ系]

3次の軸上幾何収差の一つで4回対称の寄生収差（波面収差の次数では4次）。4回非点収差が残留する場合、ロンチグラム図形に4回対称のパターンが現れる。球面収差補正装置を搭載した場合には、一般的には観察前に収差測定を行い、補正装置内の偏向素子を用いた自動収差補正機能によって各種の収差（4回非点収差も含まれる）が補正されるようになっている。
4回非点収差は八極子場から発生させることが可能である。八極子を用いた収差補正装置では、4回非点収差が補正対象である対物レンズの3次球面収差と同次であることを利用して、対物レンズの球面収差補正を行っている。

The four-fold astigmatism, one of the third-order axial geometrical aberrations, is a parasitic aberration exhibiting four-fold symmetry. (Note that it is called a fourth-order aberration in terms of the wave aberration.) The four-fold astigmatism appears as a pattern with four-fold symmetry in a Ronchigram. In the case of a TEM equipped with a Cs corrector, prior to microscope observation, aberrations are measured and then the aberrations including the four-fold astigmatism are corrected by the automatic aberration correction function with the use of the deflectors of the Cs corrector.
It is possible to produce a four-fold astigmatism using magnetic octupole fields. In an octupole Cs corrector, the spherical aberration of the objective lens is corrected using the four-fold astigmatism by utilizing the fact that the four-fold astigmatism has the same order as that of the third-order spherical aberration of the objective lens to be corrected.

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