色収差補正装置（Ccコレクター）

Cc corrector

[目次：レンズ系]

負の色収差を発生させ、結像系あるいは照射系のレンズの色収差を零にする装置。負の色収差の発生には、静電場と静磁場を重畳して作られる四極子場を用いる。四極子場を生成するために、多段の多極子が用いられる。
電子顕微鏡で用いられる磁場型あるいは電場型の円筒対称型凸レンズは、常に正の色収差を持ち、速度のより遅い電子はより大きく収束方向(内側)に曲げられる。一方、色収差補正装置で作り出される四極子場は、凸レンズと反対向きのエネルギー分散能を発生させ、速度のより遅い電子をより大きく発散方向(外側)に曲げることができる（負の分散能）。そのため、色収差補正装置をレンズ系に組み込めば、発生させた負の色収差を用いて凸レンズの正の色収差を相殺し、レンズ系全体の色収差を零にすることができる。

The Cc corrector makes the chromatic aberration of the image-forming lens or the probe-forming lens to be 0 (zero) by producing a negative chromatic aberration. To produce the negative chromatic aberration, the corrector uses a quadrupole field formed by the superposition of an electrostatic field and a magnetostatic field. Multi-stage multi-poles are used to create the quadrupole field.
The cylindrically symmetric convex lens of the magnetic field type or the electric filed type, which is used for electron microscopes, always possesses a positive chromatic aberration. Thus, electrons having a lower velocity are more largely deflected toward the convergence direction (inward).
On the other hand, the quadrupole field of the Cc corrector exhibits a negative energy dispersion, which is opposite to that of the convex lens. Thus, the Cc corrector makes the electrons having a lower velocity to deflect more largely toward the divergence direction (outward). Therefore, incorporation of the Cc corrector into the convex lens system enables the positive chromatic aberration of the lens system to cancel with the negative chromatic aberration produced by the quadrupole field, making the chromatic aberration of the entire lens system of the electron microscope to be zero.

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