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E×B検出器

E×B検出器

E×B detector, E cross B detector

[目次:装置]

インレンズ形対物レンズあるいはシュノーケル形対物レンズと組み合わせて使われる二次電子検出器の一種。低加速電圧では、二次電子検出器の強い電界により電子プローブが偏向を受け、軸ずれを起こしやすいが、直交方向に磁界を掛けることでこの偏向を防ぐことができる。電界(E)と磁界(B)を直交させることからE×Bと呼ばれる。構造的には、エネルギーアナライザの一つであるWien フィルタと同じである。

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