ECC像

ECC image, electron-channeling contrast image, ECCI

[目次：理論]

電子チャンネリングコントラスト（ECC）像。結晶性試料のSEM像を観察すると、場所ごとの結晶方位の違いがコントラストを生じる。これを利用して、結晶方位の分布や転位の観察を行うことができる。回折条件を変える（試料を傾斜したり、加速電圧を変える）とコントラストが変わるのが特徴である。
下図は試料を傾斜して得られた2枚のECC像を交互に表示したものである。観察には一般に反射電子像が使われるが、試料によって、あるいはプローブ電流が多いときは、二次電子像で観察されることもある。

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