LV-SEM
LV-SEM
low-voltage scanning electron microscopy
[目次:理論]
低加速電圧観察法の略語。試料の表面層だけを観察するために、数kV以下の加速電圧を使う観察法。
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低加速電圧観察法の略語。試料の表面層だけを観察するために、数kV以下の加速電圧を使う観察法。