Oリング

O ring

[目次：装置]

断面が円形をしたリング状のゴム製真空シール部品。部品同士の隙間を塞ぐ形で真空と大気の境界部に用いる。一方が可動部品の場合は、真空グリースを薄く塗布する。SEM用としては、フッ素ゴムのOリングが使われるが、それ自身からのガス放出があることやガスが透過するため、超高真空用としては使えない。

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