SEMラマン装置
SEMラマン装置
SEM-Raman combined system
[目次：装置]
ラマン分光装置をEDS付きのSEMに組み込むことで、SEMによる形態観察、EDSによる組成分析、ラマン分光による状態分析を可能にした複合システム。
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SEM-Raman combined system
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ラマン分光装置をEDS付きのSEMに組み込むことで、SEMによる形態観察、EDSによる組成分析、ラマン分光による状態分析を可能にした複合システム。
