TTL検出器

TTL detector, through-the-lens detector, TTL

[目次：装置]

インレンズ方式やセミインレンズ方式の強励磁対物レンズと組み合わせて使われる二次電子検出器のこと。
強励磁対物レンズでは、試料から放出された二次電子が対物レンズの漏洩磁場によってレンズ内に吸い上げられ、さらに、対物レンズの磁場に拘束されたまま光軸に沿って上方に導かれる。そのため、二次電子を効率よく検出するためには、検出器を対物レンズの上方に配置する。この配置ゆえにTTL（Through the lens）方式の二次電子検出器と呼ばれる。TTL検出器の呼び名は、検出器の配置に対するもので、検出器の種類を特定するものではない。
また、対物レンズの上方に反射電子検出器を配置して反射電子を検出することも行われており、これはTTL方式の反射電子検出器と呼ばれる。図は、強励磁対物レンズと組み合わせた二次電子検出器と反射電子検出器のTTL方式での配置の例である。

The through-the-lens (TTL) detector refers to a secondary electron detector that is used in a combination with a strongly- excited objective lens, such as an inlens objective lens or a semi-inlens objective lens.
In the strongly-excited objective lens, the secondary electrons emitted from a specimen are caught by the stray magnetic field of the objective lens. These electrons are guided upward along the optical axis of the objective lens. For efficient collection of the secondary electrons, the detector is placed above the objective lens. The detector of such an arrangement is called TTL (through the lens) detector irrespective of type of the detector.
In addition, the TTL detector (placed above the objective lens) can also be used to detect the backscattered electrons emitted from the specimen, being called the TTL type backscattered electron detector. Figure schematically shows an example of the arrangement of TTL type secondary-electron and backscattered-electron detectors in combination with a strongly-excited objective lens.

Fig. Schematic of the arrangement of a secondary electron detector and a backscattered electron detector in a combination with a semi-inlens, strongly-excited objective lens.
The specimen is placed in the magnetic field of the objective lens.

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