アウトレンズ検出器

out-lens detector

[目次：装置]

アウトレンズ形対物レンズと組み合わされて使われる二次電子検出器。対物レンズと試料の間に配置されており、光軸に関して非対称な配置となるため、方向性を持った照明効果が得られる。通常はＥＴ検出器がそのまま使われており、作動距離が短くなると検出感度が低下する。

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