アクティブ除振装置

active vibration isolator

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SEMは床からの振動を防ぐために、金属バネあるいは空気バネの様な除振装置を使っているが、床振動の周波数によってはこれらのバネの共振周波数と一致して、かえって増幅されてしまい、大きな像揺れを引き起こす。アクティブ除振装置は、センサーで検出した振動を打ち消すような動きをアクチュエータで与えることで、共振を抑えるシステムである。