油回転真空ポンプ

oil-sealed rotary vacuum pump, rotary pump, RP

[目次：装置]

可動翼を付けた回転体を油の中で回し、気体をかき出すようにして圧縮排気するポンプ。可動翼とステータあるいは回転体とステータの隙間を油でシールしている。動作圧力範囲は10^-1Pa～大気圧程度であり、大気からの粗引きや高真空用のポンプの補助用として用いる。

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