油拡散ポンプ

oil diffusion pump, diffusion pump, DP

[目次：装置]

金属円筒内に置かれたノズルから油蒸気を噴き出させ、そのエネルギーで気体分子を圧縮排気するポンプ。油を高温の蒸気にするためのヒーターと、金属円筒を冷却するための水が必要である。動作圧力範囲は10^-5～10^-1Pa程度であり、排気口側に油回転ポンプが繋がれている。

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