イオンミリング

ion milling

[目次：試料作製]

イオンビームを使った試料作製方法の一種。本来イオンビームを使った加工を意味するが、電子顕微鏡の試料作製の場合、予備的に薄くした試料の表面すれすれにアルゴンイオンビームを入射させ、STEMあるいはTEM用の薄膜試料を作る方法を意味する。

関連用語から探す