異常コントラスト

anomalous contrast

[目次：理論]

非導電性試料を観察したときに二次電子像にしばしば生じる、試料の表面形態に依存しないコントラスト。試料が観察時に帯電したために起きる現象で、試料から放出された二次電子が帯電による局部的な電界によって偏向され、検出器にうまく入らないために起きる、一種の軌道コントラストである。走査速度を速くすると帯電量が減少するので、これを利用して異常コントラストの発生を抑制することができる。
下図は無コーティングの濾紙表面を観察したもので、特に画面中央に表面形態と無関係な明るさのムラが見られる。

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