イメージシフト
イメージシフト
image shift, fine shift
[目次：装置]
微細な視野選択を行うための電磁的視野移動機構。通常は試料ステージを使って機械的に試料を移動し、観察視野を選択するが、機械的精度の関係で微細な視野移動は難しい。このようなときに、電子プローブを偏向して行うのがイメージシフトである。微細な調整は得意であるが、最大移動量は汎用形SEMでは数十µm、超高分解能SEMでは数µmである。
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イメージシフト
image shift, fine shift
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微細な視野選択を行うための電磁的視野移動機構。通常は試料ステージを使って機械的に試料を移動し、観察視野を選択するが、機械的精度の関係で微細な視野移動は難しい。このようなときに、電子プローブを偏向して行うのがイメージシフトである。微細な調整は得意であるが、最大移動量は汎用形SEMでは数十µm、超高分解能SEMでは数µmである。
