陰極レンズ

cathode lens

[目次：装置]

減速法の一つであるリターディング法では、試料ステージにマイナスの電圧を掛けるが、これにより試料と対物レンズの間に静電レンズが形成される。このレンズを陰極レンズと呼ぶ。元々は試料から放出される熱電子、光電子を結像するエミッション顕微鏡の初段レンズとして使われたもので、試料が陰極であったことから名前が付けられたものである。

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