液体金属イオン源

liquid-metal ion source, LMIS

[目次：装置]

集束イオンビーム装置のイオン源。液体金属のガリウムをタングステンの針先にコーティングしたエミッタを陽極として、引出電極にマイナスの高電圧を掛け、ガリウムイオンビームを放出させる。寿命は1000時間程度である。

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