エッチング

etching

[目次：試料作製]

断面観察の時に、組成の違い、結晶方位の違いなどによる腐食速度の違いを利用して、試料の組織を浮き出させる化学処理。化学的な方法の他、イオンによるスパッタ速度の違いを利用する場合もある。

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