エネルギー幅

energy spread, energy width

[目次：理論]

電子プローブの持つエネルギーの幅（ばらつき）。
陰極である電子銃からの電子放出のメカニズムによってエネルギー幅は異なるが、陰極の温度が高いほどエネルギー幅は大きくなる。タングステンフィラメントを使った熱電子放出型電子銃は、陰極温度が約2800Kでエネルギー幅は1～3eV。ショットキー型電子銃の陰極温度は約1800Kでエネルギー幅は0.4～1eV。電界放出型電子銃の陰極温度は室温でエネルギー幅は約0.3eVである。SEMでは、エネルギー幅が大きいと、低加速電圧において色収差のために電子プローブ径が光源の大きさよりも大きくなり、高分解能が得にくくなる。

An energy width (spread) of an electron probe.
The energy spread of the electron probe depends on the mechanism of electron emission or the type of the electron gun (cathode). As the temperature of the cathode is high, the energy spread becomes large. The thermionic-emission gun which uses a tungsten (W) filament has an energy spread of 1 to 3 eV at the cathode temperature of about 2800 K. The energy spread of the Schottky electron gun is 0.4 to 1 eV at the cathode temperature of about 1800 K. The field-emission electron gun has an energy spread of about 0.3 eV with the cathode operating at room temperature. For SEM, if an electron probe has a large energy spread, it is difficult to acquire a high-resolution image at a low accelerating voltage because the electron-probe diameter becomes large due to chromatic aberration.