エネルギーフィルター

energy filter

[目次：装置]

特定のエネルギーを持った二次電子あるいは反射電子のみを透過させたり、遮断するための、複数の電極で構成されたフィルター。市販のSEMでは、TTL検出器と組み合わせることで二次電子のエネルギー選別を行い、帯電の影響を軽減したり、組成の情報を引き出す目的に使われることがある。

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