オージェ電子分光法

Auger electron spectroscopy, AES

[目次：分析]

電子線により励起されて試料から放出されるオージェ電子のエネルギーを測定することによって、試料表面に局在する元素の分析を行う手法。オージェ電子はエネルギーが小さいため、表面敏感であり、極表面の数nm深さの分析が可能である。従って、試料は超高真空の雰囲気に置かなければならない。

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