オスミウムコーター

osmium coater, plasma CVD equipment

[目次：試料作製]

オスミウム雰囲気中でのグロー放電を利用して、四酸化オスミウム蒸気を分解し、金属オスミウムの薄い被膜を試料にコーティングする装置。凹凸が比較的激しい試料でも一様な膜厚のコーティングができる、膜の粒状性が極めて細かく高倍率観察に適する、などの特長を持つ。イオンスパッタ装置と似た構造を持つ装置であるが、四酸化オスミウムは毒性があるので、排出ガスの処理に注意する必要がある。

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