親指サイズSEM

finger-sized SEM

[目次：装置]

三好らが開発中の超小形SEM。鏡筒としては、セラミックスの円筒の中にショットキー電子銃と静電形対物レンズ、偏向器などの光学系部品を収め、長さ50mm、直径20mm程度の大きさにしている。加速電圧は1kV程度である。

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