カーボンコーター

carbon coater

[目次：試料作製]

カーボン蒸着専用の真空蒸着装置。油回転ポンプのみの排気を行うのが普通であり、低真空下でのコーティングのため蒸着粒子が散乱され、凹凸が激しい試料でも比較的一様な被膜ができる。高真空でのカーボン蒸着に比べて膜質は若干劣る。

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