カーボン膜

carbon supporting film, carbon film

[目次：試料作製]

カーボン蒸着を利用して作った薄膜。粉体試料を観察するような場合、STEMモードでは電子が透過する様な試料支持膜として、カーボン膜が用いられる。一方、微粒子の二次電子像を高加速電圧で観察する場合にも、カーボン膜を用いると背景が暗くなるので、微細構造がコントラスト良く観察できる。

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