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解像力

解像力

resolution

[目次:理論]

SEM像のシャープさを表す量。どの位小さなものが見分けられるかを意味する。本来、画像の上で識別できる二点間の最小距離を言うが、SEMでは、慣用的に二つの物体の隙間を測定している。分解能がその装置を理想的な条件で使ったときに得られる値であるのに対して、解像力は実際に得られた画像上での値であり、試料、装置の状態、倍率などの撮影条件などによって数値は異なる。ただし、分解能と解像力は混同して使われることが多い。

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