化学研磨

chemical polishing

[目次：試料作製]

化学薬品を使って試料表面を鏡面状に仕上げる方法。機械研磨をした試料の表面の加工層を取り除いたり、表面の酸化膜を取り除くのに使われる。機械研磨とは裏腹であり、適用できる試料は限られる。

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