拡散領域

diffusion region

[目次：理論]

バルク試料に入射した電子が、試料の中で散乱を繰り返しながらエネルギーを失い、最終的に試料の中にとどまるまでの領域。エネルギーを失う要因は、二次電子を発生させたり、内殻の電子を励起してX線を発生させるためである。その大きさは、入射電子エネルギーの1.3から1.7乗に比例し、密度に反比例する。試料中での電子の拡散の様子をモンテカルロシミュレーション法によって計算することができる。
なお、導電性試料が接地（アース）されている場合は、エネルギーを失って試料内にとどまった電子は、試料内の電荷の不均衡を相殺するためにアースに流れる。アースに流れる電流を吸収電流と呼ぶ。

Electrons incident onto a bulk specimen are repeatedly scattered while losing their energy and spread into the specimen until they stop. The volume where the diffusion (scattering) arises is called "diffusion region." The electron energy-loss is caused by the generation of secondary electrons or X-rays due to excitations of inner-shell electrons. The size of the diffusion region is proportional to 1.3th to 1.7th power and inversely proportional to the density of the specimen. The Monte Carlo method enables us to make simulations of the diffusion feature of electrons in the specimen.
It is noted that, when the conductive specimen is grounded, the incident electrons which lose their energy and spread in the specimen flow to the ground to cancel the imbalance of the electric charge in the specimen. The current flowing to the ground is called the absorbed current.