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加速電圧

加速電圧

accelerating voltage, acceleration energy, high tension

[目次:装置]

電子銃の陰極と陽極の間に掛けられた電圧。現在使われているSEMでは、この電圧は数百V~30kVであり、陰極から放出された電子は、この電圧で加速されて電子銃から放出される。したがって、試料に入射する電子が持つエネルギーの意味でも使用される。ただし、減速法の場合は加速電圧と試料に入射する電子のエネルギー(入射電圧)とは異なる値となる。

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