可動絞り

movable aperture, variable aperture

[目次：装置]

真空外から孔径の切替、位置調整が可能な絞り。SEMの場合、このような機能が必要な絞りは、対物レンズ絞りだけであるから、可動絞りと言うと一般に対物レンズ絞りを意味する。

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