可搬形SEM

portable SEM

[目次：装置]

通常使われているSEMは寸法・重量が大きく、機械的に安定な設置が必要なことから、移動はできない。これに対して、ある程度性能や機能を限定して小形化し、キャスターを付けるといったことで、簡単に移動できるSEMを言う。