輝度

brightness

[目次：理論]

電子銃の性能（明るさ）を示す量。
単位は、A/cm²srで、光源の明るさを単位立体角当たりの電流密度で表したもの。プローブ径が小さいと電流密度が上がり輝度は高くなる。高輝度の電子銃は高分解能のSEM像の取得に有利である。
タングステンフィラメントを使った熱電子放出型電子銃の輝度は10⁵ A/cm²srのオーダーである。電界放出型電子銃とショットキー型電子銃の輝度は、熱電子放出型電子銃より3桁高い10⁸ A/cm²srのオーダーである。

The brightness represents the performance of an electron gun. The unit of the brightness is expressed by "A/cm²sr", indicating the current density per the unit solid angle. As the electron-probe diameter is small, the current density becomes high, and the brightness is increased. The high-brightness electron gun is suitable for acquiring a high-resolution SEM image.
The brightness of the thermionic-emission gun which uses a tungsten (W) filament is about 10⁵ A/cm²sr. Those of the field-emission electron gun and the Schottky electron gun are about 10⁸ A/cm²sr, three orders of magnitudes higher than that of the thermionic-emission gun.

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