吸収電流

absorbed electron current, specimen current

[目次：理論]

導電性の試料に入射した電子が、吸収電子としてアースに流れたもの。これを信号として可視化したSEM像を吸収電流像（absorbed electron current image）と言い、反射電子組成像とは相補的なコントラストを持つ。なお、照射電流の一部は二次電子や反射電子として試料から放出されるため、照射電流と吸収電流は異なる値となる。

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