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強励磁対物レンズ

強励磁対物レンズ

strongly excited objective lens

[目次:装置]

インレンズ形対物レンズあるいはシュノーケル形対物レンズのように光軸上の磁界分布を急峻にし、且つ磁界強度も高くした対物レンズ。焦点距離が短く、収差が小さいのが特徴で、超高分解能SEMに使われている。

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