クライオステージ

cryo stage

[目次：装置]

液体窒素や液体ヘリウムを媒体として、それぞれ -180°C程度、-260°C程度に冷却することができる試料ステージ。クライオSEM法で使用する。

Cryo stage is a specimen stage that cools a specimen down to –180 °C (90 K) or down to –260 °C (10 K), respectively with liquid nitrogen or liquid helium. The stage is used for Cryo-SEM (Cryo Scanning Electron Microscopy).

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