原子番号補正

atomic-number correction

[目次：分析]

ZAF補正における補正項の一つ。入射電子の侵入深さや反射電子の発生率は、試料の平均原子番号に依存するため、入射電子の特性X線に対する発生寄与率が異なる。これを、原子番号効果（atomic number effect）と言い、これに対する補正を原子番号補正と言う。

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