高加速電圧観察

high-voltage observation

[目次：観察手法]

試料の内部構造を見る目的で、比較的高い加速電圧、例えば十数kV以上で試料を観察すること。また、導電性基板表面に非導電性被膜がある試料では、被膜を透過するような高加速電圧を使うことで、帯電無しで観察することが可能である。さらに積極的に200kV程度の高加速電圧を使う観察が行われることもあり、専用装置が半導体試料の無コーティング観察などの目的で開発されている。

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