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5軸ステージ

5軸ステージ

5-axis stage

[目次:装置]

水平移動(X、Y)、上下移動(Z)、傾斜(T)、回転(R)の五つの動作を行うことができる試料ステージ。ほとんどのSEMの試料ステージはこの構造を採用している。

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