作動距離

working distance, WD

[目次：装置]

対物レンズ下面と試料の距離。作動距離が短くなるとレンズの収差が小さくなって解像力が高くなるが、焦点深度は浅くなる。また、空間が小さくなるので試料の傾斜といった操作が難しくなる。

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