試料ステージ

specimen stage

[目次：装置]

試料の安定な支持と、試料の水平移動、上下移動、回転、傾斜などの動作がスムーズに行えるようにしたユニット。傾斜機構を持っていることからゴニオメータあるいはゴニオメータステージと呼ばれることもある。試料の支持機構と移動機能のみを持っているので、試料に外力を加えたり、温度変化を与える場合、通常は試料ステージ全体を交換する。

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