試料冷却ステージ

specimen cooling stage, cooling stage, cold stage

[目次：装置]

低温下での試料の表面形態を観察するための試料ステージ。試料損傷を抑制したり、カソードルミネッセンス分析でエネルギー分解能を上げるといったことにも使われる。液体窒素で冷却するもの、液体ヘリウムで冷却するもの、ペルチェ素子を使って冷却するものなどがある。試料ステージの温度は、液体窒素では80K程度、液体ヘリウムを使った場合は5～15Kまで冷却することができるが、ペルチェ冷却では250K程度が限界である。試料を冷却すると、試料表面に霜が付いたり、試料汚染が起こる可能性があるので、試料汚染防止装置を併用するのが望ましい。

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