デポ

deposition

[目次：試料作製]

デポジションの略語。ＦＩＢで試料を加工する時に、イオンビームによるエッチングを防ぐために加工部周辺の表面に行う、金属あるいはカーボンの成膜を言う。実際にはガスを導入し、ＦＩＢとの反応を利用して成膜を行う。

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