電位コントラスト

voltage contrast

[目次：理論]

試料上の電位差（電圧）によって、二次電子の検出効率が変わり生じるコントラスト。電位が高いと二次電子検出器との間の電界が弱くなるため二次電子の検出効率が落ちて暗くなり、電位が低いと二次電子検出器との間の電界が強くなるため明るくなる。これを利用して、LSIなどの回路の動作状態を確認することができる。一方、この電位コントラストは、非導電性試料を観察したときの帯電による異常コントラストの一因ともなる。

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