汎用形FE-SEM
汎用形FE-SEM
general purpose FE-SEM, conventional FE-SEM
[目次：装置]
FE電子銃とアウトレンズ形対物レンズを組み合わせたSEM。FE-SEMとしては最も歴史が長く、多く用いられている。解像力は数nm、実用的な倍率としては5～10万倍が得られる。
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汎用形FE-SEM
general purpose FE-SEM, conventional FE-SEM
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FE電子銃とアウトレンズ形対物レンズを組み合わせたSEM。FE-SEMとしては最も歴史が長く、多く用いられている。解像力は数nm、実用的な倍率としては5～10万倍が得られる。
