リターディング法

retarding method

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減速法の手法の一つ。試料ステージにマイナスの電圧を掛けることで試料に入射する電子を減速する方法。下図右がリターディング法である。入射電子に対しての減速電界は試料から放出される二次電子に対する加速電界となるため、帯電の影響が少なくなる。

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